Single-crystal Si formed on amorphous substrate at
low temperature by nanopatterning and
nickel-induced lateral crystallization
تک کریستال سیلیکون تشکیل شده روی لایه آمورف در دمای پایین
ABSTRAC
Silicon-based thin film transistors ~TFTs! on an amor- phous substrate have many important applications, including active matrix liquid-crystal display ~AMLCD! and future ۳-dimensional ~3D! integrated circuits. However, silicon films deposited on amorphous substrate are typically in amorphous, microcrystalline, or polycrystalline states, which contain tremendous intrinsic defects, resulting in poor device performance and device-to-device nonuniformity. A single- crystal silicon film on amorphous substrate is highly desired but is difficult to achieve because single-crystal silicon can- not grow epitaxially on an amorphous substrate. Low tem- perature is also desired to lower the manufacturing cost and ensure the circuit integration.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
ترانزیستورهای فیلم نازک بر پایه سیلیکون (TFTها) زیرلایه های آمورفی هستند که نقش های زیادی دارند، که شامل نمایشگر کریستال مایع ماتریس فعال (AMLCD) و مدارات مجتمع سه بعدی هستند. البته فیلم های سیلیکونی رسوب کرده بر روی زیرلایه آمورف معمولاً در حالت های آمورف، میکروکریستالین، و پلی کریستالین هستند. یک فیلم تک کریستال سیلیکون بر روی زیرلایه آمورف به شدت مطلوب است، اما رسیدن به آن مشکل است زیرا تک کریستال سیلیکون نمی تواند به طور همبافته بر روی زیرلایه آمورف رشد کند. دمای کم نیز به منظور کاهش هزینه ساخت مطلوب تر است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
مواد کامپوزیتی زمینه آلومینیم تقویت شده با نانولوله های کربنی
Investigation of carbon nanotube reinforced aluminum matrix composite materials بررسی مواد کامپوزیتی زمینه آلومینیم تقویت شده با نانولوله های کربنی…
مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط کلریدی
: Mercaptobenzimidazole as a copper corrosion inhibitor Long-term immersion, 3D-profilometry, and electrochemistry مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط…
مواد ایمپلنت سرامیکی Ceramic Implant Materials
Ceramic Implant Materials مواد ایمپلنت سرامیکی ABSTRACT Ceramics are refractory, polycrystalline compounds, usually inorganic, including silicates, metallic oxides, carbides, and various…
عملکرد فرایندی و بالستیک زره های سبک بر پایه کامپوزیت های آلومینیوم فوق ریز دانه aluminum composites
Processing and ballistic performance of lightweight armors based on ultra-fine-grain aluminum composites عملکرد فرایندی و بالستیک زره های سبک بر…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.