Fundamentals of Chemical Vapor Deposition
مبانی رسوب دهی شیمیایی بخار (CVD)
ABSTRAC
Chemical vapor deposition is a synthesis process in which the chemical constituents react in the vapor phase near or on a heated substrate to form a solid deposit. The CVD technology combines several scientific and engineering disciplines including thermody- namics, plasma physics, kinetics, fluid dynamics, and of course chemistry. In this chapter, the fundamental aspects of these disci-plines and their relationship will be examined as they relate to CVD.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
رسوب دهی شیمیایی بخار یک فرایند سنتز است که در آن، اجزای شیمیایی در فاز بخار، نزدیک یه یا روی یک زیرلایه گرمایافته واکنش می دهند تا یک لایه جامد تشکیل دهند. فناوری CVD برخی اصول علمی و مهندسی شامل ترمودینامیک، فیزیک پلاسما، سینتیک، دینامیک سیالات و البته شیمی را ترکیب می کند. در این فصل، جنبه های مبنایی این اصول و رابطه آنها تا جایی که به CVD مربوط باشد بررسی خواهد شد.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
مشخصه یابی ساختار بلوری نانوپودر آسیاکاری گلوله ای شده Ni-Zn-ferrite با استفاده از روش ریتولد
نانوپودر Characterization of crystalline structure of ball-milled nano-Ni–Zn-ferrite by Rietveld method مشخصه یابی ساختار بلوری نانوپودر آسیاکاری گلوله ای شده…
خزش در فلزات آمورف (شیشه فلزات) Creep in amorphous metals
Creep in amorphous metals خزش در فلزات آمورف (شیشه فلزات) ABSTRACT This paper reviews the work on creep behavior of…
رسوب نشانی لایه های نازک زیرکونیای پایدار شده با ایتریا Yttria-stabilized zirconia thin films deposited
Yttria-stabilized zirconia thin films deposited by pulsed-laser deposition and magnetron sputtering رسوب نشانی لایه های نازک زیرکونیای پایدار شده با…
رفتار سینترینگ و خواص دی الکتریکی سرامیک ها Sintering behavior and dielectric properties of BaTiO3 ceramics
Sintering behavior and dielectric properties of BaTiO3 ceramics with glass addition for internal capacitor of LTCC رفتار سینترینگ و خواص دی…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.