لایه نشانی شیمایی بخار
Fundamentals of Chemical Vapor Deposition
مبانی لایه نشانی شیمیایی بخار (CVD)
ABSTRACT
Chemical vapor deposition is a synthesis process in which the chemical constituents react in the vapor phase near or on a heated substrate to form a solid deposit. The CVD technology combines several scientific and engineering disciplines including thermody- namics, plasma physics, kinetics, fluid dynamics, and of course chemistry. In this chapter, the fundamental aspects of these disci-plines and their relationship will be examined as they relate to CVD.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
لایه نشانی شیمایی بخار یک فرایند سنتز است که در آن، اجزای شیمیایی در فاز بخار، نزدیک یه یا روی یک زیرلایه گرمایافته واکنش می دهند تا یک لایه جامد تشکیل دهند. فناوری CVD برخی اصول علمی و مهندسی شامل ترمودینامیک، فیزیک پلاسما، سینتیک، دینامیک سیالات و البته شیمی را ترکیب می کند. در این فصل، جنبه های مبنایی این اصول و رابطه آنها تا جایی که به CVD مربوط باشد بررسی خواهد شد.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
مشخصه یابی ساختار بلوری نانوپودر آسیاکاری گلوله ای شده Ni-Zn-ferrite با استفاده از روش ریتولد
نانوپودر Characterization of crystalline structure of ball-milled nano-Ni–Zn-ferrite by Rietveld method مشخصه یابی ساختار بلوری نانوپودر آسیاکاری گلوله ای شده…
مدلهای چند مقیاسی از کامپوزیتهای زمینه سرامیکی بافته شده
Multiscale model of woven ceramic matrix composites considering manufacturing induced damage مدلهای چند مقیاسی از کامپوزیتهای زمینه سرامیکی بافته شده با…
رفتار سینترینگ و خواص دی الکتریکی سرامیک ها Sintering behavior and dielectric properties of BaTiO3 ceramics
Sintering behavior and dielectric properties of BaTiO3 ceramics with glass addition for internal capacitor of LTCC رفتار سینترینگ و خواص دی…
رفتار خوردگی داغ آلیاژ Ti-6Al-4V فرآوری شده با عملیات ساچمه زنی التراسونیک
Hot corrosion behaviour of Ti–۶Al–۴V modified by ultrasonic رفتار خوردگی داغ آلیاژ Ti-6Al-4V فرآوری شده با عملیات ساچمه زنی التراسونیک…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.