نفوذ متقابل بهبود یافته سیلیسیم و ژرمانیم در ژرمانیم دوپ شده با میزان زیاد فسفر روی سیلیسیم
Enhanced Si–Ge interdiffusion in high phosphorus-doped germanium on silicon
چکیده
پیکربندیهای مختلف نفوذ متقابل سیلیسیم و ژرمانیم با مقادیر مختلف دوپ فسفر مورد بررسی قرار گرفته است. هنگامی که لایههای ژرمانیم با فسفر در محدوده بالای ۱۰۱۸ cm-۳ دوپ شدند نفوذ متقابل قابل توجهی اتفاق افتاد که منجر به تشکیل منطقه آلیاژی SiGe شد که ضخیمتر از۱۵۰nm و پس از چرخههای بازپخت (آنیل) کردن عیوب بود. در ژرمانیم با مقادیر بالای فسفر دوپ شده، نفوذ متقابل سیلیسیم و ژرمانیم در حدود ۱۰ – ۲۰ برابر در منطقه xGe > 0.7 و در مقایسه با نمونه کنترل و بدون دوپ کردن فسفر افزایش یافت.
ما این پدیده را مرتبط با انتقال خیلی سریعتر فسفر به سمت لایههای تغذیه کننده ژرمانیم از سمت ژرمانیم و در طول رشد لایه ژرمانیم میدانیم که باعث افزایش غلظت جاهای خالی با بار منفی و بنابراین قابلیت نفوذ متقابل به دلیل اثر فرمی در نفوذ متقابل سیلیسیم و ژرمانیم میشود. این کار مرتبط با طراحی دستگاه از نوع ژرمانیم روی سیلیسیم به ویژه لیزرهای ژرمانیم روی سیلیسیم است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
ABSTRACT
Si–Ge interdiffusion with different P doping configurations was investigated. Significant interdiffusion happened when the Ge layers were doped with P in high 1018 cm−۳ range, which resulted in a SiGe alloy region thicker than 150 nm after defect annealing cycles. With high P doped Ge, Si–Ge interdiffusivity is enhanced by 10–۲۰ times in the xGe > 0.7 region compared with the control sample without P doping. We attribute this phenomenon to the much faster P transport towards the Ge seeding layers from the Ge side during the Ge layer growth, which increases the negatively charged vacancy concentrations and thus the interdiffusivity due to the Fermi effect in Si–Ge interdiffusion. This work is relevant to Ge-on-Si type device design, especially Ge-on-Si lasers.
محصولات مرتبط
اثر میکروساختار ماده بر فرسایش ابزار هنگام ماشینکاری آلیاژهای سخت تیتانیوم
ماشین کاری آلیاژ تیتانیوم Experimental investigation on the effect of the material microstructure on tool wear when machining hard titanium alloys:…
بهبود فولاد میکروآلیاژی HSLA با وانادیم و تیتانیم
Effect of vanadium and titanium modification on the microstructure and mechanical properties of a microalloyed HSLA steel بهبود فولاد میکروآلیاژی HSLA…
اثر ترکیب روی بافت کریستالوگرافی آلیاژهای آلومینیوم
بافت کریستالوگرافی آلیاژهای آلومینیوم Effect of composition on crystallographic texture in hot-rolled Al-Li-Cu alloys اثر ترکیب روی بافت کریستالوگرافی در…
اثر پارامترهای جوشکاری ترمیمی بر عمر قالب های دایکست Die casting moulds
Effect of repair-welding parameters on life time of die casting moulds اثر پارامترهای جوشکاری ترمیمی بر عمر مفید قالب های…
90,000 تومان قیمت اصلی 90,000 تومان بود.22,500 تومانقیمت فعلی 22,500 تومان است.
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.