کاشت فسفر در ژرمانیم روی سیلیسیم درجا دوپ شده به منظور راندمان انتشار نور بالا
Phosphorus implantation into in situ doped Ge-on-Si for high light-emitting efficiency
چکیده
ما خواص نوری، الکتریکی و ساختاری زیرلایه ژرمانیم روی سیلیسیم رشد داده شده به صورت رونشستی را پس از کاشت فسفر بررسی کرده ایم. کاشت یون دوپ کردن نوع n را در ژرمانیم برای منبع نور روی تراشه افزایش میدهد. هرچند، اثرات آن روی ژرمانیم باید به دقت مورد مطالعه قرار گیرد. زیرا کاشت یونی میتواند مکانهای مستعد برای ترکیب مجدد را افزایش دهد و احتمالاً منجر به کاهش راندمان انتشار نور شود. ما راندمان انتشار نور ژرمانیم کاشت یونی شده را با استفاده از روشهای مختلف مشخصهیابی مواد بررسی کردیم. ما دریافتیم که کاشت یونی فسفر منجر به افزایش غلظت دوپینگ ژرمانیم روی سیلیسیم درجا دوپ شده میشود که خاصیت پرتو افشانی در اثر تحریک (فوتولومینسنس) را در حدود ۱۲ – ۳۰ درصد بهبود میبخشد. بنابراین، بهینه کردن آنیل بعدی و غلظت کاشت یون برای افزایش راندمان انتشار نور ژرمانیم حیاتی است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
ABSTRACT
We investigated the optical, electrical, and structural properties of epitaxially grown Ge-on-Si substrates after phosphorous implantation. Ion implantation increases n-type doping in Ge for an on-chip light source. However, its effects on Ge should be carefully studied as implantation may increase the recombination sites, and possibly reduce light emitting efficiency. We studied the light-emitting efficiency of implanted Ge using various material characterizations. We found that phosphorous implantation increased the doping concentration of in situ doped Ge-on-Si, which boosted the photoluminescence by 12–۳۰%. It is therefore critical to optimize the post-annealing and implantation doses to increase light emitting efficiency of Ge.
محصولات مرتبط
اتصال Inconel 625 به UNS 32205 به روش جوشکاری پرتو الکترونی
Investigations on the structure – Property relationships of electron beam welded Inconel 625 and UNS 32205 بررسی روابط خواص-ساختار اتصال…
استفاده از فولاد زنگ نزن آستنیتی AISI 316 به عنوان تقویتکننده در بتن
Practical and Economic Aspects of Application of Austenitic Stainless Steel, AISI 316, as Reinforcement in Concrete جنبههای عملی و اقتصادی…
اثر کار مکانیکی بر ساختار آلیاژ منگنز آلومینیوم Effect Of Prior Working On The Structure Of Mn-29.5% Al-0.5% C ALLOY
Effect Of Prior Working On The Structure and Deformation Capacity Of Mn-29.5% Al-0.5% C ALLOY اثر کار مکانیکی اولیه بر ساختار…
اتصال نفوذی مس به فولاد زنگ نزن تحت فشار ناگهانی
Impulse pressuring diffusion bonding of a copper alloy to a stainless steel with/without a pure nickel interlayer اتصال نفوذی مس به فولاد…
61,200 تومان قیمت اصلی 61,200 تومان بود.15,300 تومانقیمت فعلی 15,300 تومان است.
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.