تفرق کیکوچی عبوری با AZtec® – به کارگیری EBSD برای ابعاد نانو

Transmission Kikuchi Diffraction with AZtec® – The Application of EBSD to the Nanoscale

مقدمه

قادر بودن به مشخصه یابی مواد در مقیاس نانو، روز به روز در حال اهمیت یافتن است، اما علی رغم توسعه ی قابل توجه تکنولوژی در سال های اخیر، تکنیک EBSD همچنان از نقطه نظر حجم منبع ایجاد کننده ی الگو به قدرت تفکیک هایی در محدوده ی ۲۵ تا ۱۰۰ نانومتر محدود است. این میزان از توانایی برای اندازه گیری دقیق مواد به درستی نانوساختار شده (با اندازه دانه های زیر ۱۰۰ نانومتر) ناکافیست.

یک رویکرد جدید که بر پایه ی تفرق در SEM است، توجهات زیادی را به خود جلب کرده است؛ در این رویکرد، از سخت افزار مربوط به EBSD متداول برای نمونه های گذرا نسبت به الکترون استفاده می شود. این تکنیک که با نام تفرق کیکوچی عبوری (TKD: Trimby, 2012) یا EBSD عبوری (t-EBSD: Keller and Geiss) شناخته می شود، ثابت شده که قادر به ایجاد حد تفکیک های فضایی بهتر از ۱۰ نانومتر است. این تکنیک برای مشخصه یابی EBSD هم نمونه های به شدت تغییر شکل یافته و هم نانو ساختار بسیار ایده آل است.
این سند کاربرد، برخی از چالش های موجود در زمان استفاده از TKD را مطرح کرده و سپس بیان می کند که استفاده از سیستم AZtec EBSD چگونه به فائق آمدن بر این چالش ها کمک می کند.

جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.

ABSTRACT

It is becoming increasingly important to be able to characterise materials on the nanoscale and, despite significant technological developments in recent years, the EBSD technique is still limited by the pattern source volume to resolutions in the order of 25-100 nm. This is insufficient to accurately measure truly nanostructured materials (with mean grain sizes below 100 nm).

A new approach to SEM-based diffraction has received a lot of interest; it applies conventional EBSD hardware to an electron-transparent sample. The technique, referred to as transmission Kikuchi diffraction (TKD: Trimby, 2012) or transmission EBSD (t-EBSD: Keller and Geiss, 2012) has been proven to enable spatial resolutions better than 10 nm. This technique is ideal for routine EBSD characterisation of both nanostructured and highly deformed samples. This application note describes some of the challenges when using TKD and how application of the AZtec EBSD system overcomes them.