Single-crystal Si formed on amorphous substrate at
low temperature by nanopatterning and
nickel-induced lateral crystallization
تک کریستال سیلیکون تشکیل شده روی لایه آمورف در دمای پایین
ABSTRAC
Silicon-based thin film transistors ~TFTs! on an amor- phous substrate have many important applications, including active matrix liquid-crystal display ~AMLCD! and future ۳-dimensional ~3D! integrated circuits. However, silicon films deposited on amorphous substrate are typically in amorphous, microcrystalline, or polycrystalline states, which contain tremendous intrinsic defects, resulting in poor device performance and device-to-device nonuniformity. A single- crystal silicon film on amorphous substrate is highly desired but is difficult to achieve because single-crystal silicon can- not grow epitaxially on an amorphous substrate. Low tem- perature is also desired to lower the manufacturing cost and ensure the circuit integration.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
ترانزیستورهای فیلم نازک بر پایه سیلیکون (TFTها) زیرلایه های آمورفی هستند که نقش های زیادی دارند، که شامل نمایشگر کریستال مایع ماتریس فعال (AMLCD) و مدارات مجتمع سه بعدی هستند. البته فیلم های سیلیکونی رسوب کرده بر روی زیرلایه آمورف معمولاً در حالت های آمورف، میکروکریستالین، و پلی کریستالین هستند. یک فیلم تک کریستال سیلیکون بر روی زیرلایه آمورف به شدت مطلوب است، اما رسیدن به آن مشکل است زیرا تک کریستال سیلیکون نمی تواند به طور همبافته بر روی زیرلایه آمورف رشد کند. دمای کم نیز به منظور کاهش هزینه ساخت مطلوب تر است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
مدلهای چند مقیاسی از کامپوزیتهای زمینه سرامیکی بافته شده
Multiscale model of woven ceramic matrix composites considering manufacturing induced damage مدلهای چند مقیاسی از کامپوزیتهای زمینه سرامیکی بافته شده با…
روشهای شناسایی خوردگی Methods for detecting corrosion
Methods for detecting corrosion روشهای شناسایی خوردگی ABSTRACT This chapter discusses electromagnetic in-line inspection tools as they relate to pipeline…
چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن-کربن Three dimensional printing of carbon-carbon composites
Three dimensional printing of carbon/carbon composites by selective laser sintering چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن/کربن توسط زینتر لیزر انتخابی ABSTRACT A…
عملکرد فرایندی و بالستیک زره های سبک بر پایه کامپوزیت های آلومینیوم فوق ریز دانه aluminum composites
Processing and ballistic performance of lightweight armors based on ultra-fine-grain aluminum composites عملکرد فرایندی و بالستیک زره های سبک بر…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.