Single-crystal Si formed on amorphous substrate at
low temperature by nanopatterning and
nickel-induced lateral crystallization
تک کریستال سیلیکون تشکیل شده روی لایه آمورف در دمای پایین
ABSTRAC
Silicon-based thin film transistors ~TFTs! on an amor- phous substrate have many important applications, including active matrix liquid-crystal display ~AMLCD! and future ۳-dimensional ~3D! integrated circuits. However, silicon films deposited on amorphous substrate are typically in amorphous, microcrystalline, or polycrystalline states, which contain tremendous intrinsic defects, resulting in poor device performance and device-to-device nonuniformity. A single- crystal silicon film on amorphous substrate is highly desired but is difficult to achieve because single-crystal silicon can- not grow epitaxially on an amorphous substrate. Low tem- perature is also desired to lower the manufacturing cost and ensure the circuit integration.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
ترانزیستورهای فیلم نازک بر پایه سیلیکون (TFTها) زیرلایه های آمورفی هستند که نقش های زیادی دارند، که شامل نمایشگر کریستال مایع ماتریس فعال (AMLCD) و مدارات مجتمع سه بعدی هستند. البته فیلم های سیلیکونی رسوب کرده بر روی زیرلایه آمورف معمولاً در حالت های آمورف، میکروکریستالین، و پلی کریستالین هستند. یک فیلم تک کریستال سیلیکون بر روی زیرلایه آمورف به شدت مطلوب است، اما رسیدن به آن مشکل است زیرا تک کریستال سیلیکون نمی تواند به طور همبافته بر روی زیرلایه آمورف رشد کند. دمای کم نیز به منظور کاهش هزینه ساخت مطلوب تر است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
نقایص جوشکاری Welding Defects
Welding Defects نقایص جوشکاری ABSTRACT Melting rate (resulting from selected welding parameters) and welding speed define the heat input. As it…
مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط کلریدی
: Mercaptobenzimidazole as a copper corrosion inhibitor Long-term immersion, 3D-profilometry, and electrochemistry مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط…
جوشکاری حالت جامد آلیاژ برنج و فولاد به کمک قوس پلاسما
Solid-state bonding of alloy-designed Cu–Zn brass and steel associated with phase transformation by spark plasma sintering جوشکاری حالت جامد آلیاژ…
سنتز پودر ZrB2 بوسیله احیا حرارتی بور ZrB2 Powders Synthesis by Borothermal Reduction
ZrB2 Powders Synthesis by Borothermal Reduction سنتز پودر ZrB2بوسیله احیا حرارتی بور ABSTRACT High-purity zirconium diboride (ZrB2) powders with submicrometer…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.