پوشش دهی سطح با رسوب شیمیایی بخار (CVD)

پایان نامه مقطع کارشناسی

پوشش دهی سطح با رسوب شیمیایی بخار (CVD)

مقدمه

همانطور که میدانید سطح قطعات تاثیر ویژه ای بر کاربرد و کارایی قطعات دارند پس میتوان گفت که یکی از ملزومات متالورژی آشنایی با روش های مهندسی سطح و تسلط بر این روش ها می باشد. با تسلط بر این روش‌ها میتوان خواص ویژه ای به سطح فطعات ارادئه کرد که برای تحقق این منظور روشهای متفاوتی وجود دارد.انتخاب روش بسته به خواص مورد نیاز می باشد.در این مجموعه سعی کرده ایم که یکی از این روش‌ها را که کاربرد زیادی دارد را تشریح و ارائه نماییم.

عملیات حرارتی سطحی فرایندی شامل دامنه وسیعی از روش ها است که برای افزایش سختی ، بهبود مقاومت به سایش ، افزایش استحکام خستگی و حتی افزایش مقاومت در برابر خوردگی ، بدون انکه خواص درونی قطعه نظیر نرمی مغز و چرمگی تحت تاثیر قرار گیرد به کار می رود.مزیت عمده عملیات حرارتی سطحی در مقایسه با عملیات حرارتی حجمی آن است که در قطعات حجیم که احتمال تاب برداشتن و ترک خوردن ضمن عملیات حرارتی حجمی وجود دارد را میتوان به راحتی عملیات حرارتی سطحی کرد که یکی از این روش ها میتواند پوشش دهی سطح با رسوب شیمیایی بخار باشد.

به طور کلی دو گروه کاملا متفاوت از عملیات حرارتی سطحی وجود داردکه عبارتند از:

• روش هایی که شامل پوشش دهی سطح می شوند.
• روش هایی که شامل اصلاح سطح می شوند.

روش رسوب شیمیایی بخار بر اساس واکنش شیمیایی بین یک فاز گازی و سطح گرم شده یک زیر لایه به منظور ایجاد یک پوشش است. توسط این روش دامنه وسیعی از پوششهای فلزی و سرامیکی ا می توان تولید کرد. پوششهای تولید شده از این روش در بسیاری از زمینه ها نظیر خوردگی (مانندTa)، سایش (مانند TiC) ، لایه های تزئینی ، نیمه هادیها ، و تولید لایه های مغناطیسی و نوری کاربرد دارند. از روش رسوب شیمیایی بخار می توان برای تولید لایه های بسیار نازک استفاده کرد. مع هذا ، این روش یک روش شکل دهی نیز به حساب می آید. قطعات با شکل های پیچیده که تولید آنها با روش های ماشینکاری متداول مشکل است را از این روش می توان تولید نمود.