نبمه هادی های پایه تانتالیم
AFM Characterization of Ta-based Diffusion Barriers
for Use in Future Semiconductor Metallization
موانع نفوذی پایه Ta برای استفاده
در متالیزه شدن نیمه هادی های آینده
ABSTRACT
In this paper the investigation of r.f.-sputter-deposited Ta, Ta-N and Ta-N-O thin Ðlms is presented. Using atomic force microscopy in combination with sheet resistance measurements, Auger electron spectroscopy and x-ray diffraction, the thin Ðlm properties and microstructure are examined. Two crystalline modiÐcations of Ta (tetragonal b-Ta and bcc a-Ta) are reported. By incorporation of nitrogen and/or oxygen into the Ta Ðlms, nanocrystalline and quasi-amorphous structures can be achieved. Finally, the usefulness of the Ðlms as di†usion barriers in Cu-based metallization systems is described. ( 1997 by John Wiley & Sons, Ltd.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
در این مقاله بررسی لایه نشانی با کند و پاش r.f. فیلم های نازک Ta، Ta-N و Ta-N-O ارائه شده است. با استفاده از میکروسکوپ با نیروی اتمی در ترکیب با اندازه گیری های مقاومت ورق، طیف نگاری الکترونی اوژه و تفرق اشعه ایکس، خواص و ریز ساختار فیلم نازک مورد بررسی قرار گرفت. دو کریستالین تبدیل Ta (bcc α-Ta و تتراگونال β-Ta) گزارش شده است. با اتصال نیتروژن و یا اکسیژن به فیلم های Ta، ساختارهای نانوکریستالی و شبه آمورف می تواند حاصل شود. در نهایت، مزیت فیلم ها به عنوان موانع نفوذی در سیستمهای متالورژیکی پایه مس توصیف می شود.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط کلریدی
: Mercaptobenzimidazole as a copper corrosion inhibitor Long-term immersion, 3D-profilometry, and electrochemistry مرکاپتوبنزیمیدازول بعنوان بازدارنده ی خوردگی مس در محیط…
عملیات حرارتی فصل مشترک اتصال در جوشکاری انفجاری فولاد زنگ نزن/مس
Effect of heat treatment on bonding interface in explosive welded copper/stainless steel اثر عملیات حرارتی روی فصل مشترک اتصال در جوشکاری…
مواد ایمپلنت سرامیکی Ceramic Implant Materials
Ceramic Implant Materials مواد ایمپلنت سرامیکی ABSTRACT Ceramics are refractory, polycrystalline compounds, usually inorganic, including silicates, metallic oxides, carbides, and various…
ساخت پودرهای فلزی توسط الکترولیزForming metal powders by electrolysis
Forming metal powders by electrolysis ساخت پودرهای فلزی توسط الکترولیز ABSTRACT Fossil fuels will eventually be replaced by renewables. Currently, the…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.