جستجو برای:
  • مقالات ترجمه شده
  • استانداردها
  • جزوات
     

    ورود

    رمز عبور را فراموش کرده اید؟

    هنوز عضو نشده اید؟ عضویت در سایت
    • مقالات ترجمه شده
    • استانداردها
    • جزوات
    می خواهم فایل بفروشم
    ۰
    ورود به حساب
    خانهبدون دسته‌بندیموانع نفوذی پایه تانتالیم در استفاده نیمه هادی­ ها
    حالت مطالعه

    نبمه هادی های پایه تانتالیم

    AFM Characterization of Ta-based Diffusion Barriers

    for Use in Future Semiconductor Metallization

    موانع نفوذی پایه Ta برای استفاده

    در متالیزه شدن نیمه هادی ­های آینده

    ABSTRACT

    In this paper the investigation of r.f.-sputter-deposited Ta, Ta-N and Ta-N-O thin Ðlms is presented. Using atomic force microscopy in combination with sheet resistance measurements, Auger electron spectroscopy and x-ray diffraction, the thin Ðlm properties and microstructure are examined. Two crystalline modiÐcations of Ta (tetragonal b-Ta and bcc a-Ta) are reported. By incorporation of nitrogen and/or oxygen into the Ta Ðlms, nanocrystalline and quasi-amorphous structures can be achieved. Finally, the usefulness of the Ðlms as di†usion barriers in Cu-based metallization systems is described. ( 1997 by John Wiley & Sons, Ltd.

     جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .

     

    نیمه هادی های پایه تانتالیم

    چکیده

    در این مقاله بررسی لایه نشانی با کند و پاش r.f. فیلم های نازک Ta، Ta-N و Ta-N-O ارائه شده است. با استفاده از میکروسکوپ با نیروی اتمی در ترکیب با اندازه گیری های مقاومت ورق، طیف نگاری الکترونی اوژه و تفرق اشعه ایکس، خواص و ریز ساختار فیلم نازک مورد بررسی قرار گرفت. دو کریستالین تبدیل Ta (bcc α-Ta و  تتراگونال β-Ta) گزارش شده است. با اتصال نیتروژن و یا اکسیژن به فیلم های Ta، ساختارهای نانوکریستالی و شبه آمورف می تواند حاصل شود. در نهایت، مزیت فیلم ها به عنوان موانع نفوذی در سیستم­های متالورژیکی پایه مس توصیف می شود.

     

     جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.

    پرداخت انلاین

    محصولات مرتبط

    چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن-کربن Three dimensional printing of carbon-carbon composites

    Three dimensional printing of carbon/carbon composites by selective laser sintering چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن/کربن توسط زینتر لیزر انتخابی ABSTRACT A…

    5,900 تومان

    عملیات حرارتی فصل مشترک اتصال در جوشکاری انفجاری فولاد زنگ نزن/مس

    Effect of heat treatment on bonding interface in explosive welded copper/stainless steel اثر عملیات حرارتی روی فصل مشترک اتصال در جوشکاری…

    9,900 تومان

    ساخت پودرهای فلزی توسط الکترولیزForming metal powders by electrolysis

    Forming metal powders by electrolysis ساخت پودرهای فلزی توسط الکترولیز ABSTRACT Fossil fuels will eventually be replaced by renewables. Currently, the…

    19,900 تومان

    آماده سازی ذرات آلومینای ریزدانه مشتق شده از ژیپسیت بایر Preparation of Fine Alumina Powder

    Preparation of Fine Alumina Powder آماده سازی ذرات آلومینای ریزدانه مشتق شده از ژیپسیت بایر ABSTRACT This study involves the…

    29,900 تومان

    تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.

    9,900 تومان

    Report Abuse
    مت شاپ
    ضمانت کیفیت و تضمین عودت وجه
    درباره مت شاپ

    مت شاپ پلتفرم آموزشی تبادل فایل های مهندسی است. در این پلتفرم شما می ‌توانید فایل‌های آموزشی مورد نیاز خود را تهیه کنید و یا فایل‌های خود را برای فروش به اشتراک گذاشته و کسب درآمد کنید. در وبسایت مت شاپ شما می‌توانید گزیده ای از هزاران فایل آموزشی در کلیه زمینه های ترجمه مقالات، پروژه های آموزشی، استانداردها و نرم افزارهای مهندسی را مشاهده کنید که کلیه نیاز شما را در زمینه‌های آموزشی و پژوهشی مرتفع می‌کند.

    فهرست
    • فروشنده شو
    • درباره ی ما
    • فروشگاه
    • آدرس: تهران، سیدخندان
    • تماس غیرفعال.
    • ایمیل: info@matshop.ir
    جستجو

    جستجو با زدن Enter و بستن با زدن ESC