یک روش جدید پراش اشعه ایکس با زاویه کم برای تعیین توزیع اندازه تخلخل/ ذرات نانوسایز در لایه نازک
A new small angle X-Ray scattering technique for determining nano scale pore/particle size distributing in thin film
چکیده
ما یک روش جدید پراش اشعه ایکس با زاویه کم (SAXS) با استفاده از هندسه بازتاب برای تعیین توزیع اندازه ذره/تخلخل ابداع نموده ایم. جهت جلوگیری از بازتاب منظم شدید، ما از اسکن آفست (۲θ/ θ+δθ) برای اندازه گیری اطلاعات تفرق استفاده کرده ایم.
برای کار با بازتاب و انکسار در سطح و سطوح مشترک، ما میدان موج اشعه ایکس را در فیلم بر اساس تخمین Distorted Wave Born Approximation (DWBA) محاسبه نمودیم [۱]. فرض شد که توزیع اندازه ذره/ تخلخل از تابع توزیع Г تبعیت می کند و پارامترهای توزیع را توسط روش کمترین مربعات غیر خطی و با مقایسه با داده های شبیه سازی شده و عملی بهینه نمودیم. ما روش پراش اشعه ایکس با زاویه کم حاضر را روی آنالیز اندازه تخلخل در فیلم های دی الکتریک پایین متخلخل روی زیرلایه سیلیسیم اعمال نمودیم. نتایج روش اشعه ایکس به طور نسبتا خوبی با نتایج جذب گاز و روش TEM مطابقت داشت.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
ABSTRACT
We have developed a new Small Angle X ray Scattering (SAXS) technique by use of reflection geometry for determining particle / pore size distribution in thin film. In order to avoid strong specular reflection, we used offset scan (2θ / θ+δθ) for measuring scattering data.
To deal with reflection and refraction at surface and interfaces, we calculated X ray wave field in the film based on Distorted Wave Born Approximation (DWBA) [1]. We assume the particle / pore size distribution follows Г distribution function, and optimized the parameters of distribution by non liner least square method comparing simulated and experimental data. We applied the present X ray scattering technique to pore size analysis in porous low dielectric films on Si substrates. The results of X ray technique agreed fairly well with those of gas adsorption and TEM techniques.
محصولات مرتبط
اثر میکروساختار ماده بر فرسایش ابزار هنگام ماشینکاری آلیاژهای سخت تیتانیوم
ماشین کاری آلیاژ تیتانیوم Experimental investigation on the effect of the material microstructure on tool wear when machining hard titanium alloys:…
اتصال Inconel 625 به UNS 32205 به روش جوشکاری پرتو الکترونی
Investigations on the structure – Property relationships of electron beam welded Inconel 625 and UNS 32205 بررسی روابط خواص-ساختار اتصال…
ارزیابی عمق ترک با استفاده از تکنیک های جریان گردابی
Evaluation of crack depth using eddy current techniques with GMR-based probes ارزیابی عمق ترک با استفاده از تکنیک های جریان…
اثر گرافیت بر اکسیداسیون ZrB2-SiC در هوا
The effect of a graphite addition on oxidation of ZrB2–SiC in air at 1500 ◦C اثر گرافیت بر اکسیداسیون ZrB2-SiC…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.