Single-crystal Si formed on amorphous substrate at
low temperature by nanopatterning and
nickel-induced lateral crystallization
تک کریستال سیلیکون تشکیل شده روی لایه آمورف در دمای پایین
ABSTRAC
Silicon-based thin film transistors ~TFTs! on an amor- phous substrate have many important applications, including active matrix liquid-crystal display ~AMLCD! and future ۳-dimensional ~3D! integrated circuits. However, silicon films deposited on amorphous substrate are typically in amorphous, microcrystalline, or polycrystalline states, which contain tremendous intrinsic defects, resulting in poor device performance and device-to-device nonuniformity. A single- crystal silicon film on amorphous substrate is highly desired but is difficult to achieve because single-crystal silicon can- not grow epitaxially on an amorphous substrate. Low tem- perature is also desired to lower the manufacturing cost and ensure the circuit integration.
جهت دانلود رایگان نسخه لاتین این مقاله اینجا کلیک کنید .
چکیده
ترانزیستورهای فیلم نازک بر پایه سیلیکون (TFTها) زیرلایه های آمورفی هستند که نقش های زیادی دارند، که شامل نمایشگر کریستال مایع ماتریس فعال (AMLCD) و مدارات مجتمع سه بعدی هستند. البته فیلم های سیلیکونی رسوب کرده بر روی زیرلایه آمورف معمولاً در حالت های آمورف، میکروکریستالین، و پلی کریستالین هستند. یک فیلم تک کریستال سیلیکون بر روی زیرلایه آمورف به شدت مطلوب است، اما رسیدن به آن مشکل است زیرا تک کریستال سیلیکون نمی تواند به طور همبافته بر روی زیرلایه آمورف رشد کند. دمای کم نیز به منظور کاهش هزینه ساخت مطلوب تر است.
جهت دانلود ترجمه تخصصی و فارسی این مقاله می توانید وجه آنرا پرداخت نموده و بلافاصله دریافت نمایید.
محصولات مرتبط
زیرکونیا Zirconia
Zirconia زیرکونیا ABSTRACT Zirconia is a very important industrial ceramic for structural applications because of its high toughness, which has…
جوشکاری حالت جامد آلیاژ برنج و فولاد به کمک قوس پلاسما
Solid-state bonding of alloy-designed Cu–Zn brass and steel associated with phase transformation by spark plasma sintering جوشکاری حالت جامد آلیاژ…
چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن-کربن Three dimensional printing of carbon-carbon composites
Three dimensional printing of carbon/carbon composites by selective laser sintering چاپ سه بعدی کامپوزیت کربن/کربن توسط زینتر لیزر انتخابی ABSTRACT A…
مواد ایمپلنت سرامیکی Ceramic Implant Materials
Ceramic Implant Materials مواد ایمپلنت سرامیکی ABSTRACT Ceramics are refractory, polycrystalline compounds, usually inorganic, including silicates, metallic oxides, carbides, and various…
تنها اشخاصی که این محصول را خریداری کرده اند و وارد سایت شده اند می توانند در مورد این محصول بازبینی ارسال کنند.